日本ULVAC愛發(fā)科小型高真空抽氣系統(tǒng)

日本ULVAC愛發(fā)科小型高真空抽氣系統(tǒng)

特征

真空室可以在不停止主泵的情況下打開。

維護(hù)很容易，因為它由幾個部件組成，包括一個三通閥。

由于是空氣冷卻型，因此不需要油擴(kuò)散泵的冷卻水。

它是帶腳輪的易于移動的真空泵系統(tǒng)。

規(guī)范

型	VPC-250F系列
極限壓力	10-4帕 10-5Pa（LN2)
主泵	油擴(kuò)散泵 200 L/sec
前級泵	油旋轉(zhuǎn)泵 100 L/min
主閥	65A 拍板閥
副閥	三通閥
入口法蘭	VG-65 系列
重量	55.7 千克
外形尺寸 （W×D×H）	530 毫米（寬）×537 毫米（深）×735 毫米（高）

※電離真空計 ？皮拉尼真空計 ？LN 冷阱 ？轉(zhuǎn)換法蘭 ？油霧捕集器是選項。

效用

型	VPC-250F系列
所需功率	單相 100V 1.35kVA
接地端子	D 級（接地電阻/100MΩ 以下）
連接	乙烯基電纜（帶插頭） 2m

油擴(kuò)散泵

型	DPF-200 系列
極限壓力	10-5帕
最大疏散能力	200 升/秒
臨界背壓	20帕
所需功率	單相 100V 0.45kW
推薦油	SX 70cc 發(fā)動機(jī)
重量	5 公斤
入口法蘭	VG-65 系列
出口法蘭	Φ27毫米
冷卻方式	風(fēng)冷

尺寸圖

排氣系統(tǒng)圖

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