| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科沉積控制器
日本ULVAC愛發(fā)科沉積控制器
特征
出色的速率穩(wěn)定性和分辨率使其適用于低速率控制。
能力值（CI 值）測量功能提高了晶體異常檢測能力。
可以同時控制多達 8 個源的氣相沉積。（添加選項）
通信方式支持以太網和 RS-232C。
可以保存各種日志數據。數據可以傳輸到 USB 并在 PC 上進行分析。
金屬薄膜或光學薄膜氣相沉積的厚度和速率控制
| 頻率 | 測量范圍 | 4.00 至 3.00MHz @4MHz 5.00 至 3.50MHz @5MHz 6.00 至 4.50MHz @6MHz |
| 測量分辨率 | 1毫赫茲 | |
| 顯示分辨率 | 1毫赫茲 | |
| 沉積速率 | 測量范圍 *1 | 0.000 至 999.9?/s（0 至 99.99nm/s） |
| 測量分辨率 *2 | 0.0028?/s @4MHz 0.0018?/s @5MHz 0.0012?/s @6MHz | |
| 顯示分辨率 *1 | 0.001 ?/秒 | |
| 薄膜厚度 | 測量范圍 *1 | 0.000 至 9999k? （0 至 999.9μm） |
| 測量分辨率 *2 | 0.0028? @4MHz 0.0018? @5MHz 0.0012? @6MHz | |
| 顯示分辨率 *1 | 0.001 千米 | |
| 傳感器頻率 | 4MHz、5MHz、6MHz | |
| 可安裝的傳感器數量（單個） | 2 個（可選擇添加一組 2 個傳感器，最多 8 個傳感器。 | |
| 可安裝的傳感器數量（多個） | 2 個（可選擇添加一組 2 個傳感器，最多 8 個傳感器。 | |
| 采樣率 | 100 毫秒 | |
| 沉積程序數量 | 999 | |
| 過程程序數量 | 99 | |
| 數字輸入點 | 14（可以選擇添加一組 14 個點，最多 56 個點。 | |
| 數字輸出點 | 8（可以選擇添加一組 8 個點，最多 32 個點。 | |
| 模擬輸出點 | 2（可以選擇添加一組 2 個點，最多 16 個點。 | |
| 模擬輸出范圍 | -10 至 +10V | |
| 通信方式 | 以太網 （1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T） RS-232C USB（B 型，用于使用專用軟件設置） | |
| 外部尺寸（寬 x 深 x 高） | CRTM-R1：約 480 x 320 x 130 毫米 CTM（-D）：約 80 x 152 x 53 毫米 | |
| 重量 （kg） | CRTM-R1： 5.3 千克（安裝選件時最高可達 5.8 千克） CTM（-D）： 0.6 千克 | |
| 效用 | 交流 100 至 240V±10%，50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150瓦 | |
| 合適的保險絲 | 250V 2.5A （2 個 5 x 20mm） | |
| IP 防護等級 | IP20 防護等級 | |
| 過電壓類別 | 第二類 | |
| 高度 | 海拔 2000m 以下 | |
| 污染水平 | 2 | |
| 經營環(huán)境 | 溫度 5 至 40°C 濕度 20 至 85%RH（無冷凝） | |
| 存儲環(huán)境 | 溫度 -10 至 60°C 濕度 20 至 85%RH（非通電，無冷凝） | |
| 預熱時間 | 約 30 分鐘 | |
| 適用標準 | CE | |
* 1：這是 Tooling = 100 且 Density = 1
* 2 時的值：這是 Tooling = 100 且 Density = 1 時轉換頻率分辨率的值。
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