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    日本ULVAC愛發(fā)科旋轉式多傳感器

    簡要描述:
    日本ULVAC愛發(fā)科旋轉式多傳感器
    旋轉式多傳感器“CRTS-M6"是為晶體振蕩型沉積控制器“CRTM系列"開發(fā)的。5MHz 或 6MHz 晶體可安裝在旋轉式晶體支架中 6 片。它可用于高速氣相沉積和連續(xù)多層氣相沉積等,且具有安全性。

    更新時間:2025-06-26

    訪問量:72

    廠商性質:經銷商

    型號:CRTS-M6

    品牌ULVAC/日本愛發(fā)科應用領域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

    日本ULVAC愛發(fā)科旋轉式多傳感器

    日本ULVAC愛發(fā)科旋轉式多傳感器


    特征

    可安裝 5 或 6 MHz 6 片 AT 切割晶體。

    采用真空電機的du 創(chuàng)驅動系統實現了高可靠性。

    水晶的更換可以與水晶支架一起拆卸。

    如果檢測到晶體故障(異常振蕩),則通過控制器 (CRTM) 的信號自動切換到下一個晶體。

    傳感器頭體積小(直徑 50 毫米),可以靈活地安裝在蒸發(fā)沉積設備中。

    應用

    • 用于光學、OrganicEL、電氣器件的高速、多層沉積控制。

    規(guī)格

    傳感器頭
    搭載的水晶編號6 件
    晶體容量4MHz、5MHz 或 6MHz(可選)AT 切割晶體
    耐熱溫度350°C
    冷卻水量1升/分鐘
    重量1 千克
    尺寸φ50mm x 高 89mm



    控制器
    數字輸入INIT、CNT、STOP
    數字輸出傳感器編號、BUSY、ERROR、RETRY、END
    效用DC24V,3.0A
    尺寸 W×D×H100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米


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